Rapidus与IBM合作研发多阈值电压GAA晶体管技术
2024 年 12 月 12 日

在2024年IEEE IEDM国际电子器件会议上,IBM和日本Rapidus公司展示了合作研发的多阈值电压GAA晶体管技术,该技术将应用于Rapidus的2nm制程生产。IBM指出,在2nm制程中,晶体管结构从FinFET转变为GAAFET,这带来了实现多阈值电压的新挑战。通过引入两种不同的选择性减少层(SLR)芯片构建工艺,IBM和Rapidus成功解决了这一挑战,并使得Nanosheet纳米片结构的应用更为可行。IBM研究院的高级技术人员Bao Ruqiang表示,与FinFET相比,Nanosheet结构更为复杂,但新生产工艺更为简单,有助于Rapidus可靠地大规模应用2纳米片技术生产芯片。

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