晶盛机电在接受机构调研时称,9 月 26 日其首条 12 英寸碳化硅衬底加工中试线在子公司浙江晶瑞 SuperSiC 正式通线,该子公司实现从晶体生长、加工到检测环节的全线设备自主研发、100% 国产化,未来公司将加速产线量产,为客户提供高质量、低成本大尺寸碳化硅衬底。
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