台积电业务开发资深副总经理张晓强称，台积电2024年还不准备运用新的高数值孔径EUV工具生产，将主要用于与合作伙伴的研究 … 英特尔曾表示，2025年将开始以高数值孔径EUV进行生产，还说将率先收到这种机器。