台积电正加速安装对2nm工艺量产至关重要的EUV光刻机，计划今明两年接收超过60台，投资总额将超过123亿美元。ASML公司预计到2025年，EUV光刻机交付量将实现30%以上的显著增长，为满足市场需求已计划增产。然而，EUV光刻机的供应目前仍面临紧张局面，交货周期通常在16至20个月之间。业界期待台积电能在今年内接收到最新的High-NA EUV光刻机，为其在高端芯片制造领域的竞争力再添助力。