台积电资深副总经理张晓强表示，台积电暂无为 1.4nm 级逻辑制程 A14 导入 High NA EUV 的必要，通过优化 Low NA EUV 仍可取得显著进展。英特尔在同等级制程上也采取审慎态度，提供使用或不使用 High NA EUV 的选项。