台积电资深副总经理张晓强表示，台积电暂无为1.4nm级逻辑制程A14导入High NA EUV的必要，通过优化Low NA EUV仍可取得显著进展。英特尔在同等级制程上也采取审慎态度，提供使用或不使用High NA EUV的选项。