英特尔全力押注EUV工艺 争取首发下代高NA光刻机
2021 年 7 月 27 日

Intel这几年在工艺进度上落后跟10nm、7nm工艺多次跳票有关,而新工艺延期也跟Intel此前不考虑EUV工艺有关,所以10nm工艺才上了四重曝光,导致良率上不去,迟迟无法量产 … Intel之前认为EUV工艺不够成熟,现在EUV光刻工艺已经量产几年了,Intel也开始跟进了,原先的7nm工艺、现在的Intel 4工艺会是全面使用EUV光刻机的开始,首款产品是Meteor Lake流星湖,2023年发布 … 之后的Intel 3工艺、Intel 20A工艺上也会持续利用EUV工艺,进一步提升性能及能效。

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