在第八届进博会上,半导体设备供应商 ASML 展示部分全景光刻产品与技术,其中 DUV 光刻机包括 TWINSCAN XT:260、TWINSCAN NXT:870B。TWINSCAN XT:260 是首款可服务于先进封装领域的光刻系统,大视场曝光可提高 4 倍生产效率。TWINSCAN NXT:870B 在升级光学器件和新一代磁悬浮平台支持下,每小时晶圆产量超 400 片。
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