9 月 4 日,中微公司在第十三届半导体设备与核心部件及材料展(CSEAC 2025)上推出六款半导体设备新产品,覆盖等离子体刻蚀、原子层沉积及外延等关键工艺。其中,12 英寸原子层沉积产品 Preforma Uniflash® 金属栅系列是亮点,涵盖三大产品,可满足先进逻辑与存储器件金属栅应用需求。
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