上海奉贤:支持企业发展先进制程集成电路配套材料,如6N级以上高纯靶材、深紫外光刻胶及配套试剂等
7 月 11 日

上海市奉贤区发布《奉贤区通用新材料产业发展行动方案(2025-2027)》,提出以上海电子化学品专区为载体,依托重点企业,发展湿化学品、高纯靶材、电子气体、半导体封装材料等集成电路配套材料,支持先进制程材料研发,推动同创普润新材料产业园建设,打造产业链生态空间。

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