中国科学院研究人员成功开发出一种紧凑型固态深紫外激光系统，可产生193 nm相干光。该系统通过四次谐波和频率混合技术，生成平均功率为70 mW的193 nm激光，并首次实现固态激光中193 nm涡旋光束的产生。此成果对半导体光刻、晶圆加工及缺陷检测具有重要意义。