台积电作为ASML光刻机的最大客户也回应了此事，他们表示不担心会对2022年生产有什么影响 … 至于ASML，根据他们之前的信息，虽然评估是否影响今年的光刻机交货还有点早，但这次事件影响的主要是EUV光刻机生产，DUV光刻机不受影响 … EUV光刻机是生产7nm以下工艺的关键设备，ASML是全球唯一的EUV光刻机供应商，每台售价1亿欧元，将近10亿人民币，去年交付了35台EUV光刻机，今年计划交付55台EUV光刻机，三星、台积电及Intel是主要的客户。