SK海力士和三星电子正致力于新材料的开发和应用，计划在第六代DRAM生产中使用Inpria下一代金属氧化物光刻胶（MOR），这将是有机光刻胶的替代品，并有望提高DRAM性能和降低成本。两家公司均与Inpria合作，Inpria作为日本JSR公司的子公司，在无机光刻胶领域具有领导地位。此外，美光在1c DRAM上仅应用了一层EUV，而三星电子将应用6至7层。