HMI eScan1000是一套基于HMI多光束技术的检测系统，用于验证5nm及更先进工艺生产出来的晶圆质量，其突破之处在于，能够同时产生、控制九道电子束，帮助产能提升600%，大大减少晶圆质量分析所用的时间 … 业内普遍认为，工艺越先进，检测系统就越重要，后者的检测精度、吞吐量决定了生产的效率 … ASML的HMI产品营销副总裁Gary Zhang表示，随着制程工艺不断提升，晶圆的制造愈加复杂，「杀手级」的缺陷也更加微小，无法通过现有的光学检测技术和设备一一锁定。