尽管 ASML 称卖给中国芯片制造商的是「旧技术」，不能用于生产最先进芯片，但分析师仍担忧其可能用于军事技术研发与部署。消息称，中国电子科技集团下属部门采购了 ASML DUV 光刻机，还被指控 ASML 向深圳国际量子研究院供应了一套 DUV 光刻机系统，此前荷兰军事情报与安全局曾对中国量子技术发展发出警告。ASML 表示不直接评论特定客户销售情况，强调售华非尖端技术，且供应商无法判断客户是否受出口管制约束，国家安全事务责任在各国政府。