中微公司主打产品为等离子体刻蚀设备，该设备是除光刻机以外最关键的微观加工设备，也是制程步骤最多、工艺过程开发难度最高的设备 … 中微公司是一家以中国为基地、面向全球的高端半导体微观加工设备公司，是我国集成电路设备行业的领先企业 … 中微公司目前聚焦用于集成电路、LED芯片等微观器件领域的等离子体刻蚀设备、深硅刻蚀设备和MOCVD设备等关键设备的研发、生产和销售。