摘要：市场监管总局、工业和信息化部印发《计量支撑产业新质生产力发展行动方案（2025—2030年）》，聚焦集成电路产业发展需求，重点攻克扁平化量值传递等技术难题，突破晶圆级缺陷颗粒计量测试、参数标准芯片化及先进封装标准物质研制瓶颈，布局原子尺度计量装置与方法创新，围绕关键参量突破集成电路相关计量技术，研究关键工艺参数在线计量方法，开展计量测试评价，构建服务集成电路的计量体系。