联合化学拟出资 1.2 亿元向卓光芮科技（上海）有限责任公司增资，认购其新增注册资本 359.9991 万元，占增资后注册资本的 19.35%。同时，公司可在 6 个月内继续投资不超过 1.2 亿元，按估值不超过 7 亿元定价。资金主要用于支持国产投影式曝光机研发及相关零部件研制。