兴业证券研报指出，光刻工艺对集成电路制造至关重要，光刻机是半导体工业的核心设备。随着全球晶圆厂设备开支增长，光刻机需求不断上升。目前，ASML、尼康和佳能垄断全球前道光刻机市场，实现国产替代具有战略意义。建议关注光刻机产业链相关零部件上市公司。