截至2025年3月4日14:52:48，光刻机概念股出现震荡拉升，海立股份实现2连板，珂玛科技、国林科技、赛微电子涨幅超过5%，炬光科技、中瓷电子、蓝英装备、波长光电、苏大维格等股票也跟随上涨。