台积电计划在高雄推进1.4纳米制程的A14生产线，并已在当地盘点所需的土地和水电资源。目前，台积电在楠梓园区的第三座晶圆厂将生产2纳米制程芯片，高雄市正解决相关生产和生活需求问题。楠梓园区预留用地足够建设五座晶圆厂，第四、五厂或采用A14制程。预计2025年楠梓首座2纳米晶圆厂将量产，其产值将超越3纳米制程。A14制程预计2026年上半年进行风险试产，2027年第三季度量产，初期将使用ASML第三代EUV设备。同时，台中中科新厂也可能采用2纳米以下制程技术。