台积电目前5/3nm制程产能利用率已达100%，为应对各厂商需求，3nm制程下半年月产能将从10万片逐步增加至约12.5万片。2nm制程预计最快于2025年第四季度开始量产，目标月产能为3万片。随着未来高雄厂区的增加，竹科和高雄两地的总月产能预计可达12-13万片。