ASML称，三季度，EUV光刻机系统的订单量达到了29亿欧元，且当季的出货量和收入创下历史新高 … ASML主力EUV光刻机是TWINSCAN NXE:3600D，其在客户那里也达到了每小时加工160片晶圆的创纪录效率 … DUV（深紫外）光刻机方面，完成出货1000台ArF（氟化氩浸没式光刻系统），这距离第一台浸没式光刻机（XT:1700Fi）出货过去了15年。