科创板上市公司中微半导体设备（上海）股份有限公司发布公告称，自2020年1月1日至3月13日，该公司累计获得政府补助款项共计人民币1.37亿元 … 该公司在公告中表示，上述政府补助资金中，与收益相关的政府补助为人民币11828.47万元，与资产相关的政府补助为人民币1854.37万元。